• Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten
  1. Boeken
  2. Non-fictie
  3. Wetenschap
  4. Techniek
  5. Biotechnologie & Chemische technologie
  6. Plasma characterization and modelling for c-Si solar cells thin film deposition.

Plasma characterization and modelling for c-Si solar cells thin film deposition.

Lazhar Rachdi
Paperback | Engels | Solar Energy and Systems Research
€ 92,95
+ 185 punten
Levertermijn 1 à 4 weken
Eenvoudig bestellen
Veilig betalen
Gratis thuislevering vanaf € 30 (via bpost)
Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

In this work, plasmas produced during thin film deposition are characterized. The proposed investigations focused on plasmas constituted by silane (SiH4) and ammonia (NH3) gas mixtures due to their extensive use for the deposition of dielectric layers in particular silicon nitride (SiNx). Moreover, plasma characterization using optical emission spectroscopy (OES) is the focus of this work, due to its fast and non-intrusive nature making it ideal for industrial applications. The novelty of this research lies in the quantitative use of plasma emission to extract important plasma parameters, followed by the utilization of the results for modelling purposes. The investigated plasma parameters are the electron density and the shape of the electron energy distribution. OES-based plasma parameters are used to calculate electron impact dissociation rates for silane and ammonia. Aminosilane species were found to be the most important precursors for silicon nitride growth. The calculated radical densities were used to interpret the experimental SiNx layer compositions. When varying the ammonia-to-silane gas flow, three different plasma regimes were found depending on the main precursor for the layer growth. Moreover, SiNx layer characteristics highly depend on the regime in which it was deposited.

Specificaties

Betrokkenen

Auteur(s):
Uitgeverij:

Inhoud

Aantal bladzijden:
344
Taal:
Engels
Reeks:

Eigenschappen

Productcode (EAN):
9783839618219
Uitvoering:
Paperback
Afmetingen:
172 mm x 20 mm
Gewicht:
498 g
Standaard Boekhandel

Alleen bij Standaard Boekhandel

+ 185 punten op je klantenkaart van Standaard Boekhandel
BUNDELPROMO

2+1 GRATIS op meer dan 200 producten

Profiteer nu van onze vroegboekkortingen
BUNDELPROMO
2+1 GRATIS op meer dan 200 producten
ACTIEPRIJS

€ 10 korting

op de Vivlio Light en Light HD e-reader
ACTIEPRIJS
Vivlio Light en Light HD e-reader met € 10 korting
AANGERADEN

Dé boeken bij jouw vakantiebestemming

door ons geselecteerd
AANGERADEN
Dé boeken bij jouw vakantiebestemming
Standaard Boekhandel

Beoordelingen

We publiceren alleen reviews die voldoen aan de voorwaarden voor reviews. Bekijk onze voorwaarden voor reviews.