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Prozeßtechnologie
Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen
Günter Schumicki, Peter Seegebrecht
€ 90,95
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Omschrijving
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Specificaties
Betrokkenen
- Auteur(s):
- Uitgeverij:
Inhoud
- Aantal bladzijden:
- 500
- Taal:
- Duits
- Reeks:
Eigenschappen
- Productcode (EAN):
- 9783540176701
- Verschijningsdatum:
- 8/03/1991
- Uitvoering:
- Paperback
- Formaat:
- Trade paperback (VS)
- Afmetingen:
- 170 mm x 244 mm
- Gewicht:
- 820 g
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Wedstrijd
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