Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending (in België) aan op alles gedurende de hele maand januari.
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • In januari gratis thuislevering in België
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten
Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending (in België) aan op alles gedurende de hele maand januari.
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • In januari gratis thuislevering in België
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Hf-Based High-K Dielectrics

Process Development, Performance Characterization, and Reliability

Young-Hee Kim, Jack C Lee
€ 34,95
+ 69 punten
Levering 1 à 2 weken
Eenvoudig bestellen
Veilig betalen
In januari gratis thuislevering in België (via bpost)
Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

In this work, the reliability of HfO2 (hafnium oxide) with poly gate and dual metal gate electrode (Ru-Ta alloy, Ru) was investigated. Hard breakdown and soft breakdown, particularly the Weibull slopes, were studied under constant voltage stress. Dynamic stressing has also been used. It was found that the combination of trapping and detrapping contributed to the enhancement of the projected lifetime. The results from the polarity dependence studies showed that the substrate injection exhibited a shorter projected lifetime and worse soft breakdown behavior, compared to the gate injection. The origin of soft breakdown (first breakdown) was studied and the results suggested that the soft breakdown may be due to one layer breakdown in the bilayer structure (HfO2/SiO2: 4 nm/4 nm). Low Weibull slope was in part attributed to the lower barrier height of HfO2 at the interface layer. Interface layer optimization was conducted in terms of mobility, swing, and short channel effect using deep submicron MOSFET devices.

Specificaties

Betrokkenen

Auteur(s):
Uitgeverij:

Inhoud

Aantal bladzijden:
92
Taal:
Engels
Reeks:

Eigenschappen

Productcode (EAN):
9783031014246
Verschijningsdatum:
31/12/2007
Uitvoering:
Paperback
Formaat:
Trade paperback (VS)
Afmetingen:
190 mm x 235 mm
Gewicht:
195 g
Standaard Boekhandel

Alleen bij Standaard Boekhandel

+ 69 punten op je klantenkaart van Standaard Boekhandel
SOLDEN

30% korting

op een mooie selectie boeken en papierwaren
SOLDEN
solden
Standaard Boekhandel

Beoordelingen

We publiceren alleen reviews die voldoen aan de voorwaarden voor reviews. Bekijk onze voorwaarden voor reviews.