Standaard Boekhandel gebruikt cookies en gelijkaardige technologieën om de website goed te laten werken en je een betere surfervaring te bezorgen.
Hieronder kan je kiezen welke cookies je wilt inschakelen:
Technische en functionele cookies
Deze cookies zijn essentieel om de website goed te laten functioneren, en laten je toe om bijvoorbeeld in te loggen. Je kan deze cookies niet uitschakelen.
Analytische cookies
Deze cookies verzamelen anonieme informatie over het gebruik van onze website. Op die manier kunnen we de website beter afstemmen op de behoeften van de gebruikers.
Marketingcookies
Deze cookies delen je gedrag op onze website met externe partijen, zodat je op externe platformen relevantere advertenties van Standaard Boekhandel te zien krijgt.
Je kan maximaal 250 producten tegelijk aan je winkelmandje toevoegen. Verwijdere enkele producten uit je winkelmandje, of splits je bestelling op in meerdere bestellingen.
This book is an introduction to the application of computer simulation and theory in the study of the interaction of energetic particles (1 ev to the MeV range) with solid surfaces. The authors describe methods that are applicable both to hard collisions between nuclear cores of atoms down to soft interactions, where chemical effects or long-range forces dominate. The range of potential applications of the technique is enormous. In surface science, applications include surface atomic structure determination using ion scattering spectroscopy or element analysis using SIMS or other techniques that involve depth profiling. Industrial applications include optical or hard coating deposition, ion implantation in semiconductor device manufacture or nanotechnology. The techniques described will facilitate studying plasma-sidewall interaction in fusion devices. This book will be of interest to graduate students and researchers, both academic and industrial, in surface science, semiconductor engineering, thin-film deposition and particleSHsurface interactions in departments of physics, chemistry and electrical engineering.