Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België vanaf € 30
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België vanaf € 30
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Winkels

Verlanglijstje

Winkels

Verlanglijstje

Zoeken

Volg ons op

140 winkels

Wist je dat er in Vlaanderen voor iedereen een Standaard Boekhandel is binnen een straal van 7 km?

Vind hier een winkel

€ 69,45

+ 138 punten

Levertermijn 1 à 4 weken

Eenvoudig bestellen

Veilig betalen

Gratis thuislevering vanaf € 30 (via bpost)

Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

This book is designed as an introduction for the graduate students and researchers who want to understand the trends of MEMS materials and devices. Particularly, this book describes the experimental view of the fabrication of a thin membrane over a conical V-shaped cavity using front side lateral etching technology that proposes a novel front side etching fabrication process for silicon based piezoresistive micro- pressure sensor. As far as the fabrication process is concerned, this technique successfully accomplished a front side etching process laterally to replace the conventional back-side bulk micro-machining. This novel structure of micro pressure sensor can achieve the distinguishing features of the chip size reduction and fabrication costs degradation. This book covers the principles, tools and methods for determining the reliability of micro-electro-mechanical (MEMS)materials, components and devices. Hopefully, this book will be very beneficial to the students of MEMS and NEMS courses.